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顯微式激光測振儀

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項目介紹

顯微式激光測振儀（Micro System Analyzer）可用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測試。

這種非接觸式、可視化、高精度的測試方法，代替了傳統(tǒng)的電測法，幫助用戶清楚的觀察和測量一個結(jié)構(gòu)的動態(tài)特性并準確以視頻、圖片和數(shù)據(jù)的形式描述出來，

顯微式激光測振儀通過非接觸，數(shù)字顯微和目前測量動態(tài)特性及振動精度最高的激光多普勒測振原理，快速，高效，精準獲得壓電片的區(qū)域振動數(shù)據(jù)，除了傳統(tǒng)二維數(shù)據(jù)的曲線描述和分析，

還可以通過模態(tài)動圖方式更直觀表現(xiàn)，解決傳統(tǒng)電測方法不可視，精度低，沒有過程數(shù)據(jù)無法進行研究等問題。

樣品要求

1.樣品臺200mm?200mm，高度10cm以內(nèi)；

2.用于面外和面內(nèi)振動測量，振幅分辨率達亞皮米級；振幅0.5mm以內(nèi)都可測試；

3激光光斑小于4μm，橫向分辨率極高；測試距離大，可達38mm；實時振動測量，高達 25MHz 的大帶寬。

項目案列

傳感器振型三維分析圖

常見問題

應(yīng)用領(lǐng)域包括？

典型應(yīng)用領(lǐng)域包括：慣性傳感器，如加速度計和陀螺儀；微機電傳感器和致動器 (MEMS) ；打印機噴墨頭；壓力傳感器薄膜；耳機、微型鏡頭等。

尤其適用于MEMS領(lǐng)域的壓電片、三維慣導(dǎo)、壓力傳感器陣列等微小、復(fù)雜結(jié)構(gòu)的三維可視模態(tài)測試。

學(xué)術(shù)文章

探索顯微式激光測振儀的先進技術(shù)

2024-04-11

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